金属防腐清洗剂

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金属防腐清洗剂广泛应用于化学机械抛光、刻蚀、沉积以及其它保护步骤中，该清洗液降低了对后续工艺的干扰，大大降低了金属材料的表面点蚀，减低了表面腐蚀程度。从而降低了缺陷，提高了清洗效率和产品优良率，增加了收益率，大大改善了金属表面的平坦度质量。

1.前言 该清洗液广泛应用于化学机械抛光、刻蚀、沉积以及其它保护步骤中，该清洗液降低了对后续工艺的干扰，大大降低了金属材料的表面点蚀，减低了表面腐蚀程度。从而降低了缺陷，提高了清洗效率和产品优良率，增加了收益率，大大改善了金属表面的平坦度质量。

2.介绍

2.1基础配方

将一定分量的各组分（有机羧酸化学添加剂（0~5）、有机膦酸化学添加剂（0~0.5）、有机磺酸化学添加剂（0~1）、氨基酸化学添加剂（0.5~5）、聚合物金属防腐抑制剂(10~5000mg/L)、含氮杂环化合物（0~1）、载体加至100混合均匀即可。

2.2常见组分及机理

1）络合剂：一般选用氨基羧化合物及其盐、有机羧酸及其盐、有机膦酸及其盐的一种或多种。有机羧酸为柠檬酸、草酸、酒石酸、琥珀酸或马来酸中的一种或多种混合物；有机膦酸为烷基膦酸、苯基膦酸、1-羟基乙烯基-1,1-二膦酸、亚甲基磷酸、乙烯基二胺-4-亚甲基磷酸、环丁烷基三胺-5亚甲基膦酸或多氨基多醚基四亚甲基膦酸中的一种或多种的组合；有机磺酸为甲基磺酸、乙基磺酸、二甲基磺酸或丁基磺酸内酯的一种或多种的组合；含氮氨基酸为甘氨酸、丙氨酸、亮氨酸、异亮氨酸、胱胺酸、半胱氨酸、甲硫氨酸、苏氨酸、丝氨酸、苯丙氨酸、色氨酸、谷氨酸、天门冬氨酸、赖氨酸、中一种或多种。
　　2）防腐抑制剂：该清洗液中运用聚合物金属防腐抑制剂为聚丙烯酸类化合物、丙烯酸类化合物与苯乙烯的共聚化物、丙烯酸类化合物与顺丁烯二酸酐的共聚化合物、丙烯酸类化合物与丙烯酸酐类的聚化合物、膦酰基羧酸共聚物、中一种或多种；相对分子量为2000~3000000.其中较好的是相对分子量在5000~30000的聚丙烯酸。

2.3使用工艺

1）压力1.0~2psi、抛光盘的转速50~70r/min、抛光头转速70~90r/min、抛光液流速200~300ml/min、抛光时间1~2min;
　　2)然后在压力1.5psi、抛光盘的转速25r/min、抛光头转速25r/min，使用本清洗液，流速300ml/min、抛光时间0.5~1min;
　　3)用清洗液及聚乙烯醇滚刷对晶片表面进行刷洗2min,滚刷转速为300r/min,清洗头转速280r/min,清洗剂液流量300 ml/min;
　　4）再用去离子水及PVA滚刷刷洗2min，滚刷转速为300r/min，清洗头转速280r/min，去离子水流量300ml/min.

3.参考配方